マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| 出版年 | 2003.12 |
| 形態 | 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm |
| 著者標目 | 吉村, 長光 <ヨシムラ, ナガミツ> |
| 件 名 | BSH:真空技術 BSH:電子線 NDLSH:真空工学 |
| 分 類 | NDC9:534.93 |
| 書誌ID | LT00693036 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 534.93/Y91/1 | 0113482510000 | 9784860430399 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 監修: 岡野達雄 参考・引用文献: 各章末 |
| NCID | BA6508397X |
| 巻冊次 | ISBN:4860430395 |
目次／あらすじ