マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 工業調査会 |
出版年 | 2003.8 |
形態 | 232p ; 21cm |
著者標目 | 藤田, 博之(1952-) <フジタ, ヒロユキ> |
件 名 | BSH:マイクロマシン |
分 類 | NDC9:530 |
書誌ID | LT00692945 |
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状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 530/F67/2 | 0113481910000 | 9784769371175 |
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本文言語 | 日本語 |
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NCID | BA6332701X |
巻冊次 | ISBN:4769371179 |
目次/あらすじ