ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
はじめての半導体洗浄技術 / 小川洋輝, 堀池靖浩著
(ビギナーズブックス ; 23)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 工業調査会 |
| 出版年 | 2002.3 |
| 形態 | 276p ; 21cm |
| 著者標目 | 小川, 洋輝 <オガワ, ヒロキ> 堀池, 靖浩 <ホリイケ, ヤスヒロ> |
| 件 名 | BSH:半導体 BSH:洗浄法 |
| 分 類 | NDC9:549.8 |
| 書誌ID | LT00655478 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/O24/1 | 0112926330000 | 9784769312123 |
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工学部分室開架 | 549.8/O24/1 | 2000000021051 | 9784769312123 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| NCID | BA56225847 |
| 巻冊次 | ISBN:4769312121 |
目次／あらすじ