ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄[ほか]監修 ; カテゴリー1-20 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1999.7 |
| 形態 | x, 307p ; 22cm |
| 著者標目 | 村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ> 尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ> 野崎, 真次 <ノザキ, シンジ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 |
| 書誌ID | LT00599030 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/MU59/1 | 0112091020000 | 9784563036201 |
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| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| NCID | BA4214337X |
| 巻冊次 | ISBN:456303620X |
目次／あらすじ