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Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A. / editors, Tomas Diaz de la Rubia ... [et al.]
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 469)

データ種別	図書
出版者	Pittsburg, Pa. : Materials Research Society
出版年	c1997
形態	xv, 541 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Diaz de la Rubia, Tomas
件　名	LCSH:Semiconductors -- Defects -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Silicon crystals -- Defects -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	NDC:501.4 NDC:549.8
書誌ID	LT00576920

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状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		工学部分室開架	501.4/MA71-1/1-469	0111645340100	9781558993730				予約・取寄				予約・取寄

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本文言語	英語
一般注記	Includes bibliographical references and indexes
NCID	BA34715106
巻冊次	ISBN:1558993738

目次／あらすじ