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Plasma processing of semiconductors / edited by P.F. Williams
(NATO ASI series ; Series E . Applied sciences ; v. 336)

データ種別	図書
出版者	Dordrecht : Kluwer Academic Pub.
出版年	c1997
形態	x, 613 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	Williams, P. F. (P. Frazer)
件　名	LCSH:Plasma engineering LCSH:Semiconductors -- Etching 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Plasma chemistry -- Industrial applications 全ての件名で検索
分　類	NDC:501.2 LCC:TA2020 DC21:621.3815/2
書誌ID	LT00573390

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状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		工学部分室開架	501.2/N96/1	0111631140100	9780792345671				予約・取寄				予約・取寄

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本文言語	英語
一般注記	Includes bibliographical references and index
NCID	BA31434665
巻冊次	ISBN:0792345673

目次／あらすじ