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VLSI planarization : methods, models, implementation / by V. Feinberg, A. Levin and E. Rabinovich
(Mathematics and its applications ; v. 399)

データ種別	図書
出版者	Dordrecht : Kluwer Academic Pub.
出版年	c1997
形態	vi, 184 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	*Feinberg, V. Levin, A. Rabinovich, E.
件　名	LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Mathematical models 全ての件名で検索
分　類	NDC:410.8 NDC:549.3 LCC:TK7874.75 DC21:621.39/5
書誌ID	LT00525329

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状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		理学部分室開架	410.8/MA72-3/1-399	0110890320100	9780792345107				予約・取寄				予約・取寄

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本文言語	英語
一般注記	Bibliography: p. 173-179 Includes index
NCID	BA31161868
巻冊次	ISBN:079234510X

目次／あらすじ