Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A. / editors, Steven R.J. Brueck ... [et al.]
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 387)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1995 |
| 形態 | xiii, 454 p. : ill., port. ; 24 cm |
| 著者標目 | Brueck, Steven R. J. |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Heat treatment -- Congresses
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LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Chemical vapor deposition -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Dielectrics -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | NDC:501.4 NDC:549.8 LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2 |
| 書誌ID | LT00524242 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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中央自動書庫 | 501.4/MA71-1/1-387 | 0110884700100 | 9781558992900 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references and indexes |
| NCID | BA26512125 |
| 巻冊次 | ISBN:1558992901 |
目次／あらすじ
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