ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健[ほか]共著
(Maruzen advanced technology ; 材料工学編 MO8)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 1991.3 |
| 形態 | xi,262p ; 22cm |
| 著者標目 | 古川, 静二郎(1934-) 石原, 健 堂山, 昌男(1927-) |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 分 類 | NDC:549.8 |
| 書誌ID | LT00513962 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/F93/6 | 0110702380000 | 9784621035832 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 文献:各章末 |
| NCID | BN06180206 |
| 巻冊次 | ISBN:4621035835 |
目次／あらすじ