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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; カテゴリー1-5 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス)

データ種別	図書
出版者	東京 : 培風館
出版年	1994.5
形態	xii,361p ; 22cm
著者標目	阿部, 孝夫
分　類	NDC:549.8
書誌ID	LT00462567

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状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		工学部分室開架	549.8/A12/2	0109828480009	9784563036058				予約・取寄				予約・取寄
		工学部分室開架	549.8/A12/2+2	0109828770007	9784563036058				予約・取寄				予約・取寄
		工学部分室開架	549.8/A12/2+3	0109979310005	9784563036058				予約・取寄				予約・取寄

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本文言語	日本語
一般注記	参考文献:各章末
NCID	BN10742751
巻冊次	ISBN:4563036056

目次／あらすじ