チョウジュンスイ ノ カガク
超純水の科学 / 半導体基盤技術研究会編
(Surface science technology / 半導体基盤技術研究会編 ; 1)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : リアライズ社 |
| 出版年 | 1990.9 |
| 形態 | 890p ; 26cm |
| 著者標目 | 半導体基盤技術研究会 <ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ> |
| 件 名 | NDLSH:半導体 NDLSH:洗浄剤 |
| 分 類 | NDC:549.8 |
| 書誌ID | LT00330725 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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工学部分室開架 | 549.8/H29-9/1 | 0108600730006 | 9784947655417 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 監修: 大見忠弘ほか 参考文献: 各章末 |
| 巻冊次 | ISBN:4947655410 |
目次／あらすじ
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